膜类设备–——揭膜
*是面向半导体后道封装中的晶圆减薄后撕膜和切割后翻膜/ 撕膜制程之工艺处理的系统设备
*对应处理4”~8“ / 8”~12”晶圆产品
*对应处理减薄后的BG膜撕膜(BG De-taping)
*对应处理切割后蓝膜、UV膜的翻膜/撕膜(SAW De-Mounting)
*是面向半导体后道封装中的晶圆减薄后撕膜和切割后翻膜/ 撕膜制程之工艺处理的系统设备
*对应处理4”~8“ / 8”~12”晶圆产品
*对应处理减薄后的BG膜撕膜(BG De-taping)
*对应处理切割后蓝膜、UV膜的翻膜/撕膜(SAW De-Mounting)
*是面向半导体后道封装中的晶圆BG前和SAW前的两种贴膜制 程之工艺处理的系统设备
*对应处理4”~8“/8”~”12”晶圆产品
*Wafer Taper对应处理BG膜 (The platform can handle LC tape or PR tape after replacing the module)
*Wafer Mounter对应处理SAW膜(Blue / UV / DAF tape)
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