PIONEER OF ADVANCED TECHNOLOGY

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先进技术的开拓者

SUPPLIER OF INNOVATIVE PRODUCTS

创新产品的供应商

北京微法尔半导体科技有限公司

WFR是一家致力于为半导体行业工艺制程提供优质设备产品的专业制造商,

目前以半导体行业晶圆贴膜相关工艺的核心设备为主,同时兼顾晶圆传输核心部件的自主研发。

WFR核心团队成员有着15年以上半导体设备研发制造销售经验。

开发的设备在业内具有广泛的市场前景,较好的客户口碑和出色的技术优势。

Sorter

设备结构经过特殊设计并配备了微环境保持系统,可实现Class1的洁净度要求。系统可选配双面晶圆读码系统和晶圆翻转功能,能够稳定高效的完成各类晶圆分选场景。

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EFEM

半导体工艺设备的前置晶圆传输单元,主要完成对其他工艺设备的晶圆自动化传输。设备结构经过特殊设计并配备了微环境保持系统,可实现Class1的洁净度要求。

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膜类设备–——揭膜

*是面向半导体后道封装中的晶圆减薄后撕膜和切割后翻膜/ 撕膜制程之工艺处理的系统设备

*对应处理4”~8“ / 8”~12”晶圆产品

*对应处理减薄后的BG膜撕膜(BG De-taping)

*对应处理切割后蓝膜、UV膜的翻膜/撕膜(SAW De-Mounting)

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膜类设备–——贴膜

*是面向半导体后道封装中的晶圆BG前和SAW前的两种贴膜制 程之工艺处理的系统设备

*对应处理4”~8“/8”~”12”晶圆产品

*Wafer Taper对应处理BG膜 (The platform can handle LC tape or PR tape after replacing the module)

*Wafer Mounter对应处理SAW膜(Blue / UV / DAF tape)

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企业资讯

2024-09-25

新品发布|SRT旗下微法尔携国产自研晶圆核心部件参展CSEAC 2024

2024年,新质生产力热潮涌动。SRT作为一家以软体机器人技术为基础,以研发为导向的综合性创新企业,正在以加快构建多领域场景应用···

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2024-06-27

SEMI-e 2024齐聚深圳|跟着SRT旗下微法尔看半导体国产化工艺制程设备新成果

6月26日,为期三天的第六届SEMI-e 深圳国际半导体技术暨应用展览会在深圳国际会展中心(宝安新馆)如期开展。展会期间,微法尔(···

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2024-05-09

GSIE 2024|赴渝参展!SRT旗下微法尔以半导体自研核心部件开拓应用领域新路径

5月7日-9日,第六届全球半导体产业与电子技术(重庆)博览会(GSIE 2024)在重庆国际博览中心如期开幕。本届博览会以“新时代·创···

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2024-03-08

SEMICON_China_2024 跨界全球,心芯相连

SEMICON China 2024|SRT旗下微法尔半导体国产自研晶圆传输系统新品首发3月20至22日,全球规模最大、最具影响力的半导体年度盛会“···

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ABOUT WFR

关于我们

公司研发中心坐落于江苏省苏州市,占地面积 2000m²,拥有高级研发人员 35 人。 WFR 具备完备的净化组装车间、精密的检测设备和严格的质量管控体系,致力于为行业 提供高品质、高可靠性的产品,积极赋能先进设备制造,助力中国半导体行业崛起。

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